Mems
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當前修訂版本
微機電系統 (Micro Electro Mechanical Systems，MEMS)
整合電子、機械、光學、化學、生物、磁學或其他性質到單一或多晶片上。
為一個智慧型微小化的系統，包含感測、處理或致動的功能，
References:
